?氣浮平臺(tái)有氣浮直線平臺(tái)與氣?。ㄐD(zhuǎn)）轉(zhuǎn)臺(tái)兩類。氣浮平臺(tái)的核心原理是由空氣軸承結(jié)合電控元件構(gòu)成的精密位移平臺(tái)，基于空氣軸承的原理，讓負(fù)載板浮在氣浮導(dǎo)軌或氣浮軸承上，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng)。

??氣浮平臺(tái)的氣浮直線導(dǎo)軌常見(jiàn)的形式有：

??1、重力平衡式氣浮導(dǎo)軌；

??2、閉式氣浮導(dǎo)軌；

??3、永磁預(yù)載式氣浮導(dǎo)軌；

??4、真空吸附式氣浮導(dǎo)軌。

??常見(jiàn)的氣浮孔結(jié)構(gòu)為：

??1、小孔節(jié)流結(jié)構(gòu)；

??2、多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)。

??氣浮平臺(tái)的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間有著好的性能精度，行程300mm直線度和平面度的誤差在1μm以內(nèi)，氣浮平臺(tái)的承載能力也非常的好，在市場(chǎng)上已經(jīng)逐漸得到大家的認(rèn)可。

??氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)作為精密設(shè)備，分為直線運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，在使用時(shí)注意事項(xiàng)：

??1、機(jī)械結(jié)構(gòu)部分：

??1）直線軸或旋轉(zhuǎn)軸需要安裝到一個(gè)平面度5μm的平臺(tái)基座上。

??2）氣浮臺(tái)的供氣氣源要是潔凈的，無(wú)水無(wú)油固體顆粒小于0.2μm，壓力露點(diǎn)-20℃，三級(jí)過(guò)濾器定期排水（因地域濕度不同，根據(jù)實(shí)際情況檢查，周/月/季檢查），三級(jí)過(guò)濾器要豎直安裝，定期檢查是否有油水的情況，如有，打開(kāi)過(guò)濾器底部開(kāi)關(guān)排出。

??3）直線軸和轉(zhuǎn)臺(tái)負(fù)載臺(tái)面在3μm以內(nèi)，先用無(wú)水乙醇擦拭干凈在安裝工件。

??4）安裝的工件平面度3μm以內(nèi)。

??5）安裝螺釘時(shí)，4角固定時(shí)要對(duì)角線上螺釘，環(huán)形固定時(shí)要也對(duì)角安裝，先輕微上力，再逐步加力，參考螺釘緊固力矩標(biāo)準(zhǔn)。

??6）轉(zhuǎn)臺(tái)先通氣再通電，氣壓在0.5~0.6Mpa，關(guān)機(jī)時(shí)先斷電再斷氣。

??7）直線軸與轉(zhuǎn)軸安裝，先用無(wú)水乙醇擦干凈，在安裝螺釘，轉(zhuǎn)接板平面度要在3μm以內(nèi)，安裝方法參考1.5。

??2、電控部分：

??1）轉(zhuǎn)臺(tái)開(kāi)機(jī)的時(shí)候先通氣再通電，關(guān)機(jī)時(shí)先斷電再斷氣。

??2）氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)上電前，先判斷一下氣壓是否合適，用手輕輕推動(dòng)氣浮軸，軸能很平滑的運(yùn)動(dòng)并且阻力很小，那么氣浮軸可以上電并上使能使用了；如果推不動(dòng)或者阻力很大，請(qǐng)勿要使用大的力氣強(qiáng)行去推，此時(shí)應(yīng)該去尋找原因或與廠家聯(lián)系，不可以上電使用。

??3）參考使用說(shuō)明書，內(nèi)含注意事項(xiàng)。