應(yīng)用特點(diǎn)：

u 采用“直線電機(jī)+交叉導(dǎo)軌”的方式，結(jié)合光柵尺反饋，作全閉環(huán)控制的多軸亞微米級(jí)平臺(tái)；

u 模塊化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，且整體模塊可以任意拆解；

u 更好的速度穩(wěn)定性；

u 替代Stewart平臺(tái)，性價(jià)比更高；

  提供全套控制系統(tǒng)，控制算法更精準(zhǔn)。