? 產(chǎn)品特性：

? X+雙Y軸亞微米級(jí)平臺(tái)，可任意添加多軸聯(lián)動(dòng)；

? XY行程從250*250mm，具體規(guī)格可選；

? 重復(fù)定位精度≤±0.1μm，直線度≤0.5μm；

? 最大負(fù)載25KG;

? 應(yīng)用特點(diǎn)：

u 克服了傳統(tǒng)堆疊式運(yùn)動(dòng)平臺(tái)由于XY兩方向誤差累積而導(dǎo)致的控制精度不高的特點(diǎn)，還消除了兩線性軸相互疊加而造成的剛度串聯(lián)問題，提高了氣浮平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)剛度；

u 采用“直線電機(jī)+氣浮導(dǎo)軌”的方式，結(jié)合光柵尺反饋，作全閉環(huán)控制的多軸亞微米級(jí)平臺(tái)；

u 采用真空預(yù)壓技術(shù)，保證其系統(tǒng)的剛度及穩(wěn)定性；

u 更好的速度穩(wěn)定性；

u 實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)跟隨性好（勻速條件下），動(dòng)態(tài)跟隨誤差±50nm。