尺寸圖：

 u 產(chǎn)品特性：

? 堅(jiān)固的機(jī)械結(jié)構(gòu)；

? 非接觸直接驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)響應(yīng)和高可靠性

? 用于超精密運(yùn)動(dòng)的直接驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)，無(wú)鐵芯電機(jī)提供高推力，零齒槽效應(yīng)，可實(shí)現(xiàn)超平滑的速度和位置控制；

? 行程從100mm到2000mm 不等，可根據(jù)實(shí)際需求定制；

? 增量式和絕對(duì)式編碼器作為標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)提供，可實(shí)現(xiàn)低至5nm 的最小增量運(yùn)動(dòng)和亞微米級(jí)的可重復(fù)性；