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高精密垂直軸平臺

產(chǎn)品描述:產(chǎn)品類型VMP-A-7VMP-A-8Travel 行程7mm8mmAccuracy 定位精度2μm2μmBi-Repeatability 雙向重復(fù)定位精度0.2μm0.2μmStraightness 直線度0.8μm0.8μmLoad capacity負載0.5kg15kgJitter at stay position位置抖動50nm50nmMaximum speed最大速度0.2m/s0.2m/...
聯(lián)系電話:17324462735

詳細介紹

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產(chǎn)品特性:

顯微鏡物鏡的高動態(tài)定位器 ;

可調(diào)行程范圍限制為共1-8mm ;

高動態(tài)直驅(qū) ;

綜合重量力補償為1kg,可由用戶自行調(diào)節(jié) ;

合適的可選配件,例如物鏡支架。

非接觸直接驅(qū)動系統(tǒng),可平衡超精密、高動態(tài)運動;

堅固的 FEM 優(yōu)化航空鋁制機身可防止熱彎曲效應(yīng);

超精密抗蠕動交叉滾珠導(dǎo)軌提供精確的垂直運動;

借助平衡負載、抵消重力的影響,使其具備線性電機的所有優(yōu)勢;

切斷電源,磁/氣平衡選項可防止負載向下漂移.

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